技术:X射线透镜将更精细的芯片聚焦

2018-02-01 07:09:05

作者:Marcus Chown创建平行X射线束的LENS是系统的核心,可以显着增加芯片上电子元件的数量该系统由莱斯特大学的科学家与美国公司Nova Scientific of Sturbridge,Massachusetts联合开发 “目前的目标是能够制造不到十分之一微米的晶体管,”莱斯特团队的Adam Brunton说 “从理论上讲,X射线可以用来制造比0.18微米当前记录小几百倍的元件”今天的芯片是用光刻法制造的平行或“准直”的可见光束通过类似于模板的掩模照射到半导体衬底上无论光线落在何处,它都会改变半导体并防止其被酸蚀刻但衍射会使光线围绕掩模边缘弯曲,模糊芯片上的阴影,从而将元件的尺寸限制在约0.25微米随着光的波长变短,衍射效应减弱,并且德州仪器(Texas Instruments)使用紫外光制造了小至0.18微米的成分然而,未来几乎肯定在于利用更短波长的X射线 X射线光刻需要准直的X射线束这已经可以通过称为同步加速器的电子加速器产生,但这些机器非常昂贵布伦顿和他的同事们的目标是寻找更便宜的替代品我们的想法是使用从激光加热金属到大约100万摄氏度时产生的热等离子体中产生的X射线但是这样的X射线会散开,所以需要一个镜头将它们变成准直光束当布伦顿和乔治弗雷泽为天文学开发出一种“龙虾眼”X射线透镜时,取得了突破这个镜头由捆绑在一起的数百万个微小铅玻璃管组成(技术,4月13日,第20页),将太空中的X射线聚焦到一个点莱斯特科学家现在正在调整镜头以准直来自激光等离子体源的X射线莱斯特团队设计的镜头由Nova Scientific制造技术人员采用一个36毫米的圆盘,其中包含数百万个深度为6毫米的管子,并将其研磨成一个边缘最薄的镜片 “这确保了即使以最大角度撞击管壁的X射线也只进行一次反射,”布伦顿说最后,它们将镜片加热并弯曲成平行光束所需的形状这些镜片正在牛津附近的卢瑟福阿普尔顿实验室的科学家们进行测试 “我们还没有完全正确,但我们正在变得更好,”布伦顿说在镜头可用于X射线光刻之前,